1、光學(xué)環(huán)境真空微腔探針臺(tái) 測試腔、控溫及加熱系統(tǒng)

測試夾具要求：可實(shí)現(xiàn)XYZ移動(dòng)；光學(xué)環(huán)境真空微腔探針臺(tái)

測試腔：同時(shí)滿足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數(shù)：同時(shí)測試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應(yīng)管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

2、探針臺(tái)和氣體配比器

流量計(jì)數(shù)量：5個(gè)，（根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體  量程    進(jìn)氣口和出氣口）

流量規(guī)格：500 ml/min

精準(zhǔn)度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復(fù)精度：±0.2% F.S

響應(yīng)時(shí)間：≤1 s

密封形式：金屬密封

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485

4、樣品12*10mm，探針可移動(dòng)范圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm

5、每個(gè)樣品上方一個(gè)紫外燈，四個(gè)燈連成燈串外置一個(gè)可控開關(guān)。紫外燈可更換，樣品上方2cm。

6、加熱板上有個(gè)鍍金襯底，用來連接?xùn)艠O。

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