微型真空探針臺

產(chǎn)品簡介

微型真空探針臺設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

產(chǎn)品型號：10μm探針臺

更新時間：2025-01-15

廠商性質：生產(chǎn)廠家

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一、應用領域：東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

二、作用原理：有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

三、微型真空探針臺技術參數(shù)：

溫控器
加熱溫度	35-400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。
溫控誤差	±1℃
熱電偶類型	PT100高精度傳感器
溫控表	宇電PID溫控器
程序控溫	1段（可選30段程序控溫表）
加熱功率	≤300W
加熱電源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空探針熱臺
腔體材質	304不銹鋼
加工方式	一體式CNC精加工
內腔體尺寸	137X57X21mm 容積165ML
加熱臺尺寸	Φ35mm
觀察窗內徑	Φ45mm
觀察窗材質	高透光石英玻璃
信號輸出頭	SMA母頭配線 SMA轉BNC 1.5米
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
抽氣口	KF16
進氣口	6MM卡套
使用正壓	≤O.05MPa
使用負壓	機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
可擴展配件	氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口擴展5KV高壓電極升級30段控溫儀表
移動探針
探針規(guī)格	探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動距離	2.5mm
前后移動距離	±10mm
左右旋轉距離	120°